离子束抛光机主要用于高精度光学元件的面形精修，利用离子源发射出的离子束在真空中轰击被加工表面，可以实现原子量级的材料去除，具有面形收敛速度快、无边缘效应和亚表面损伤等特点，保证最终的面形精度要求。

公司引进了德国NTG公司的IBF500离子束抛光机，具有3轴数控系统，通过高精度干涉检测指导加工，可以对多种光学材料，平面、球面、非球面等多种类型光学表面进行精确修正，加工元件口径可达Φ500mm，面形精度RMS值λ/50~λ/100（λ=632.8nm）。